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电子级氢氟酸

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电子级氢氟酸

  • 所属分类:无机酸

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/06/15
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详细介绍

高纯氢氟酸

分子式:HF  分子量:20.01

质量指标:

 

名称优级纯GR分析纯AR化学纯C.P
氢氟酸(HF)含量%≥ 40.0-49.040.0-49.040.0-49.0

灼烧残渣(以硫酸盐计)%

0.0010.0020.01
氯化物(CL)%0.00050.0010.005
硫酸盐和亚硫酸盐(以SO4计)%0.0010.0020.005
磷酸盐(PO4)%0.00010.00020.0005
氟硅酸盐(SiF6)%0.020.040.06
铁(Fe)%0.000050.00010.0005
重金属(以Pb计)0.00010.00050.001


性质:

本品为无色透明液体,在空气中发烟,有刺激性气味,剧毒,能与一般金属、金属氧化物以及氢氧化物发生反应,生成各种盐类。腐蚀性强,能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。易溶于水、醇,难溶于其他有机溶剂。高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂,可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置实用。

产品用途:

   应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)芯片的湿法清洗和湿法蚀刻,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。目前,在国内基本上是蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业,其他方用量较少。


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